Эллипсометри таҷрибавии LCP-25

Тавсифи кӯтоҳ:

Поляриметри эллиптикии дастӣ усули нобудшавиро барои чен кардани ғафсӣ ва шохиси шикастани филм истифода мебарад ва кунҷи инҳироф ва инҳирофи раванди санҷишро дастӣ танзим мекунад. Эллипсометрия дар ченкунии қабати тунуки диэлектрикӣ дар субстрати сахт васеъ истифода мешавад. Дар усули чен кардани гафсии плёнка, онро то тунуктарин ва баландтарин чен кардан мумкин аст.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Мушаххасоти

Тавсифи	Мушаххасоти
Диапазони андозагирии ғафсӣ	1 нм ~ 300 нм
Диапазони кунҷи ҳодиса	30º ~ 90º, Хатогӣ ≤ 0,1º
Кунҷи бурриши поляризатор ва таҳлилгар	0º ~ 180º
Миқёси кунҷии диск	2º дар як шкала
Мин. Хониши Вернер	0,05º
Баландии маркази оптикӣ	152 мм
Диаметри марҳилаи кор	Φ 50 мм
Андозаҳои умумӣ	730x230x290 мм
Вазн	Тақрибан 20 кг

Рӯйхати қисмҳо

Тавсифи	Миқдори
Воҳиди эллипсометр	1
Ҳе-Не лазерӣ	1
Гирифтани фотоэлектрикӣ	1
Ҳуҷайраи акс	1
Филми кремний дар субстрати кремний	1
CD нармафзори таҳлил	1
Дастури дастурӣ	1