Эллипсометри таҷрибавии LCP-25
Муқаддима
Полариметри дастӣ эллиптикӣ усули нобудшавӣ барои чен кардани ғафсӣ ва нишондиҳандаи шикастаи филмро истифода мебарад ва кунҷии каҷравии раванди санҷишро дастӣ танзим мекунад. Эллипсометрия ҳангоми чен кардани филми тунуки диэлектрикӣ дар субстрати сахт васеъ истифода мешавад. Дар усули чен кардани ғафсии филм онро то дақиқтарин ва дақиқтарин андоза кардан мумкин аст.
Тафсилот
Тавсифи | Тафсилот |
Диапазони ченкунии ғафсӣ | 1 нм ~ 300 нм |
Диапазони кунҷи ҳодиса | 30º ~ 90º, Хатои ≤ 0.1º |
Кунҷи чорроҳаи поларизатор ва анализатор | 0º ~ 180º |
Тарозуи кунҷии диск | 2º дар миқёс |
Дақ. Хониши Vernier | 0,05º |
Баландии маркази оптикӣ | 152 мм |
Диаметри марҳилаи кор | Φ 50 мм |
Умумӣ | 730x230x290 мм |
Вазн | Тақрибан 20 кг |
Рӯйхати қисмҳо
Тавсифи | Миқдор |
Шӯъбаи эллипсометр | 1 |
He-Ne Laser | 1 |
Фотоэлектрикӣ | 1 |
Аксҳо Чашмак | 1 |
Филми силикатӣ дар оксигнаи кремний | 1 |
Нармафзори таҳлили CD | 1 |
Дастури дастур | 1 |
Паёми худро дар ин ҷо нависед ва ба мо фиристед